（1）将钼粉和(hé)铌粉（純度(dù)均为(wèi)≥99 .95%，粒(lì)徑分(fēn)别为(wèi)15μm和(hé)30μm）按照重(zhòng)量(liàng)比为(wèi)9:1的(de)比例裝(zhuāng)入(rù)球磨機(jī)中，然後(hòu)加入(rù)硬(yìng)脂酸(suān)、棕榈酸(suān)和(hé)氧化(huà)锆磨球（粒(lì)徑3mm），在(zài)氩气(qì)保护下(xià)進(jìn)行球磨，所(suǒ)述的(de)球磨时(shí)間(jiān)为(wèi)120min，球磨转速为(wèi)1000r/min，过(guò)篩，分(fēn)離得到(dào)粒(lì)徑为(wèi)5μm钼铌合金(jīn)複合粉末(mò)；

所(suǒ)述硬(yìng)脂酸(suān)、棕榈酸(suān)和(hé)氧化(huà)锆磨球的(de)重(zhòng)量(liàng)分(fēn)别为(wèi)钼粉和(hé)铌粉總(zǒng)重(zhòng)量(liàng)的(de)0 .01倍、0 .01倍、15倍；

（2）将钼铌合金(jīn)複合粉末(mò)置于真(zhēn)空(kōng)爐中升(shēng)温(wēn)至400℃热(rè)處(chù)理(lǐ)30min，接着進(jìn)行冷(lěng)等静(jìng)壓成(chéng)型，冷(lěng)等静(jìng)壓的(de)壓力为(wèi)220MPa，保壓时(shí)間(jiān)为(wèi)8min，得到(dào)壓制毛(máo)坯；

（3）将壓制毛(máo)坯在(zài)真(zhēn)空(kōng)燒結爐中進(jìn)行燒結成(chéng)型，燒結温(wēn)度(dù)为(wèi)2100℃，燒結时(shí)間(jiān)6 h，得到(dào)

靶材毛(máo)坯；

（4）将靶材毛(máo)坯經(jīng)过(guò)機(jī)械加工得到(dào)産品钼铌合金(jīn)溅射靶材，钼铌合金(jīn)溅射靶材为(wèi)單一(yī)物(wù)相組織，組織均勻無孔洞(dòng)（參见图5），平均晶粒(lì)尺(chǐ)寸(cùn)40μm，密度(dù)9 .89g/cm3。[0028] 本发明(míng)步驟（2）钼铌合金(jīn)複合粉末(mò)冷(lěng)等静(jìng)壓之(zhī)前(qián)還(huán)置于真(zhēn)空(kōng)爐中热(rè)處(chù)理(lǐ)，过(guò)程控制劑的(de)去(qù)除徹底，有(yǒu)利于後(hòu)續冷(lěng)等静(jìng)壓壓制成(chéng)型。