随着電(diàn)子産業的(de)发展(zhǎn)，高(gāo)技術(shù)材料逐漸向(xiàng)薄膜转移，鍍膜期(qī)間(jiān)随之(zhī)发展(zhǎn)迅速，靶材是(shì)一(yī)种具有(yǒu)高(gāo)附加值的(de)特种電(diàn)子材料，是(shì)溅射薄膜材料的(de)源极(jí)。陶瓷靶材作(zuò)为(wèi)非(fēi)金(jīn)屬薄膜産業发展(zhǎn)的(de)基礎材料，已得到(dào)的(de)发展(zhǎn)，靶材市(shì)场(chǎng)規模日(rì)益膨脹。

国內(nèi)的(de)陶瓷平面(miàn)靶材主(zhǔ)要(yào)采用燒結及(jí)綁定工藝，可(kě)生(shēng)産大(dà)长(cháng)度(dù)600mm，大(dà)宽(kuān)度(dù)400mmm，大(dà)厚度(dù)30mm，圆(yuán)角(jiǎo)、斜邊(biān)、台(tái)階(jiē)等异(yì)形根(gēn)據(jù)客戶要(yào)求加工。

常见的(de)陶瓷靶材主(zhǔ)要(yào)有(yǒu)：ITO靶、氧化(huà)鎂靶、氧化(huà)铁(tiě)靶、氮化(huà)矽靶、碳化(huà)矽靶、氮化(huà)钛靶、氧化(huà)鉻靶、氧化(huà)鋅靶、一(yī)氧化(huà)矽靶、氧化(huà)铈靶、硫化(huà)鋅靶、二(èr)氧化(huà)矽靶、二(èr)氧化(huà)锆靶，五(wǔ)氧化(huà)二(èr)铌靶、二(èr)氧化(huà)钛靶、二(èr)氧化(huà)铪靶，二(èr)硼化(huà)钛靶，二(èr)硼化(huà)锆靶，三氧化(huà)鎢靶，三氧化(huà)二(èr)鋁(lǚ)、靶五(wǔ)氧化(huà)二(èr)钽、五(wǔ)氧化(huà)二(èr)铌靶、氟化(huà)鎂靶、氟化(huà)钇靶、硒化(huà)鋅靶、氮化(huà)鋁(lǚ)靶，氮化(huà)矽靶，氮化(huà)硼靶，氮化(huà)钛靶，碳化(huà)矽靶，铌酸(suān)锂靶、钛酸(suān)镨靶、钛酸(suān)鋇靶、钛酸(suān)镧靶、氧化(huà)镍靶等。

陶瓷靶材的(de)种類(lèi)：

(1)按化(huà)學(xué)組成(chéng)，可(kě)分(fēn)为(wèi)氧化(huà)物(wù)陶瓷靶材、矽化(huà)物(wù)陶瓷靶材、氮化(huà)物(wù)陶瓷靶材、氟化(huà)物(wù)陶瓷靶材和(hé)硫化(huà)物(wù)陶瓷靶材等。其(qí)中平面(miàn)顯示ITO陶瓷靶材国內(nèi)已廣泛生(shēng)産应用。高(gāo)介電(diàn)绝緣膜用陶瓷靶材和(hé)巨磁電(diàn)阻陶瓷靶材具有(yǒu)廣闊的(de)应用前(qián)景。

(2)按应用来(lái)分(fēn)，可(kě)分(fēn)为(wèi)半導體(tǐ)關(guān)聯陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、磁記(jì)录(lù)陶瓷靶材、光(guāng)記(jì)录(lù)陶瓷靶材、超導陶瓷靶材、巨磁電(diàn)阻陶瓷靶材等。

陶瓷靶材在(zài)現(xiàn)有(yǒu)的(de)複雜電(diàn)子産品制造中，只(zhī)不(bù)过(guò)占工程的(de)极(jí)少(shǎo)部(bù)分(fēn)，但起(qǐ)到(dào)了(le)信(xìn)息産業基礎先(xiān)導材料的(de)作(zuò)用。我(wǒ)国電(diàn)子信(xìn)息産業发展(zhǎn)很快(kuài)，陶瓷溅射靶材的(de)需求逐年(nián)增多(duō)，未来(lái)对(duì)陶瓷溅射靶材的(de)研究和(hé)開(kāi)发，是(shì)我(wǒ)国靶材供应商的(de)一(yī)个重(zhòng)要(yào)的(de)課題(tí)。